自動橢圓偏振測厚儀

自動橢圓偏振測厚儀  橢圓偏振測厚儀 型號：TPY-2

TPY-2型自動橢圓偏振測厚儀采用消光法自動測量薄膜厚度和折射率，具有精度高、靈敏度高以及自動控制等特點(diǎn)。光源采用氦氖激光器，功率穩(wěn)定波長精度高。  
儀器采用USB接口與電腦連接，配套軟件功能齊全，具有多樣數(shù)據(jù)采集及處理方式，于不同用戶的需要。  
規(guī)格與主要技術(shù)指標(biāo)：  
測量范圍：       薄膜厚度范圍1nm-4000nm                  折射率范圍：1-10    
測量小示值： ≤1nm                                     入射角：20°- 90°精度≤0.05°  
度盤刻度：       每格1度                                 允許樣品尺寸：φ10-φ140mm，厚度≤16mm  
偏振器步進(jìn)角： 0.014°/步                                偏振器方位角范圍：0°- 180°      
測量膜厚和折射率重復(fù)性精度分別為：0.5nm和0.005  
TPY-2型自動橢圓偏振測厚儀儀器測量精度：±0.5nm（薄膜厚度在10-100nm時(shí)）  
光學(xué)中心高度：80mm    
成套性：主機(jī)、電控系統(tǒng)、USB接口、配套軟件（需配計(jì)算機(jī)）  
主機(jī)重量：26kg    外形尺寸：680*390*310mm